产品名称 : Wafer单槽式清洗机
产品介紹

Wafer 单槽式自动清洗机-功能说明

  • 将6"~12"晶圆放置晶舟,利用纯水搭配超音波清洗,再以N2烘干,有效达到清洗洁净效果。

Wafer 单槽式自动清洗机-功能简介规格一览

  • 单槽全自动化清洗
  • 个性化快速上手操作接口
  • 多重安全保护

Wafer 单槽式自动清洗机-功能简介规格一览

机型编号

适用WAFER尺寸

机身尺寸(单位:公分)

耗电量(KVA)

YF-68W
YF-812W

6"~8"Wafer
8"~12"Wafer

L170 x W150 x H250
L170 x W150 x H270

60
70

电源规格

AC 220V / 380V / 415V 3PHASE 50HZ / 60HZ